KASHIYAMA日本樫山真空泵SDT1800的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDT1800的特点

工艺耐性强：除形状的螺杆外，新的加热器系统进一步强化了工艺耐性，特殊材料具备高耐腐蚀性，能适应丰富的温度变化，可实现广泛的工艺响应。

无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，适用于超洁净工艺环境，如半导体晶圆制造等。

氮气吹扫功能：支持氮气吹扫功能，氮气流量可在 0 至 120SLM 范围内调节，增强了工艺灵活性。

抽气能力强：最大抽速可达 100,000L/min，极限压力为 0.3Pa，能够快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求。

高效节能：通过新型加热器系统与机械结构优化，实现了低功耗化，功率仅 3.3kW。

小型化设计：外形尺寸为 1050×515×950mm，机身小巧，节省安装空间。

冷却水需求低：冷却水流量仅需 4.0L/min，对冷却系统的要求不高，可降低运行成本和设备复杂度。

安全可靠：属于耐加工和 Super Hirsch 兼容机器，符合工业安全标准，配备高安全性防护设计，能在工况下稳定运行。

产品兼容性好：支持与同系列设备协同工作，可扩展应用场景，例如可与 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。

应用领域广泛：适用于化工、电子 / 电池、半导体制造、实验室等领域，可用于晶圆加工、蚀刻等关键工艺的真空环境控制，以及高纯度实验环境及腐蚀性气体处理。