日本开滋 ZCD4QS-VFC 隔膜阀技术参数与产品说明

日本开滋 KITZ SCT ZCD4QS-VFC 隔膜阀为ZCD 系列零死区高精度手动隔膜阀，是开滋原厂针对高纯度流体控制场景设计的专用阀件，主打极小内容积、高气体置换性与超低泄漏特性，搭配 LOTO 安全锁操作机构，适配高洁净、高纯度的工业流体输送工况。产品整体采用耐腐蚀高强度材质打造，内部流道经高精度抛光处理，可满足半导体、制药、分析仪器等行业对介质洁净度、控制精度的严苛要求，是高纯度气体、洁净液体输送系统的核心控制元件。

一、核心技术参数

本型号隔膜阀技术参数均为开滋原厂标定，全规格适配高精度、高洁净流体控制工况，具体参数如下：

公称规格：通径适配 1/4"、1/2" 常规规格；连接方式为 Male CVC 公制螺纹（原厂可定制其他螺纹规格），面对面安装尺寸 57~83mm，阀体高度 62.4~76mm

压力参数：工作压力 0.98MPa (G)，适配常压至中低压流体控制工况，无负压适配限制

温度参数：依密封件材质区分，PCTFE 密封 - 10℃~80℃，PI/PFA 密封 - 10℃~150℃，均为介质长期工作温度范围

材质参数：阀体材质为 SUS316L 不锈钢（锻造工艺，无铸造缺陷）；隔膜片为钴合金（镍钴合金基底，耐腐耐磨）；密封件可选 PCTFE/PI/PFA 三种材质，适配不同温度与介质工况

泄漏参数：外部泄漏率≤1.0×10⁻¹⁰Pa・m³/sec，内部泄漏率≤1.0×10⁻¹⁰Pa・m³/sec，达超高纯流体控制泄漏标准

抛光等级：介质接触表面分两级，EP 级 Rz≤0.7μm，STD 级 Rz≤3.2μm，满足不同洁净度工况需求

操作参数：手动 90° 启闭手轮，带 LOTO 安全锁功能，手轮单次旋转 90° 即可完成全开 / 全关动作，无额外调节行程

流量参数：CV 值 0.27（1/4"）、0.7（1/2"），流量输出稳定，无流道节流损耗

防护与包装：无额外气动 / 电动附件，防护等级适配工业常规室内工况；EP 级产品采用双层密封包装，STD 级为单层密封包装，防止运输过程中污染

二、产品核心特性

ZCD4QS-VFC 作为开滋 ZCD 系列核心款型，在结构设计、材质选用、性能表现上均针对高纯度流体控制做专项优化，核心特性如下：

零死区设计，高气体置换性：限度缩小阀门全关状态下从密封圈到主流路的内容积（死区），大幅提升介质置换效率，避免介质滞留污染，适配高纯度气体的连续输送与切换工况

强制提升隔膜结构：配置专属提升（ASSY）组件，启闭过程中可强制提升隔膜片，有效防止隔膜封闭真空导致的启闭卡顿问题，同时提升阀门开启速度，保证操作响应性

LOTO 安全锁操作，适配规范作业：90° 手动启闭手轮集成 LOTO 安全锁功能，可通过锁具固定阀门启闭状态，防止非人员误操作，满足工业现场安全作业管理要求

超高耐腐与高洁净度：阀体与介质接触部件均为 SUS316L 不锈钢，搭配无吸附、无析出的 PCTFE/PI/PFA 密封件，无介质污染风险；高精度抛光流道、无杂质残留，符合半导体、制药行业的洁净度标准

超低泄漏，密封性能优异：采用钴合金隔膜与高适配密封件的双重密封结构，内外泄漏率均达 10⁻¹⁰级标准，可有效防止高纯度介质泄漏与外界杂质侵入

易维护设计，组件可自行更换：提升组件为模块化设计，用户可根据现场工况自行拆卸、更换，无需专业工具；隔膜片与密封件为快拆式结构，后期维护便捷，降低停机成本

结构紧凑，安装适配性强：阀体采用紧凑型设计，体积小、重量轻，安装空间要求低；螺纹连接方式装配便捷，可直接对接常规流体管路，无需额外适配法兰或接头

三、适用工况

本型号隔膜阀为高纯度流体控制专用阀件，严禁用于含颗粒、纤维、杂质的介质及强酸强碱强腐蚀介质工况，适配的具体工况如下：

行业应用：半导体制造、液晶 / LED 面板生产、光伏电池制造、制药与医疗器械、精密分析仪器、高纯度气体制备与输送、实验室超纯流体控制等

介质适配：超高纯惰性气体（氮气、氩气等）、超高纯工艺气体、去离子水、超纯化学试剂、洁净无杂质的液态化工原料等

工况条件：常压至 0.98MPa (G) 的中低压工况，介质温度 - 10℃~150℃（依密封件选型），无强烈振动、无介质脉动的平稳输送工况

安装场景：室内常规安装，可用于工艺管路的介质通断、支路切换、流量粗调等环节，适配手动操作的流体控制系统

四、核心结构与部件说明

ZCD4QS-VFC 隔膜阀采用模块化结构设计，各部件分工明确，均围绕高纯度、高精度控制需求打造，核心结构及部件功能如下：

阀体：SUS316L 不锈钢锻造而成，整体无砂眼、裂纹等缺陷；流道经数控精密加工与高精度抛光，无毛刺，确保介质流动顺畅且无杂质残留

隔膜组件：由钴合金隔膜片与传动杆组成，是阀门密封与启闭的核心部件；隔膜片与阀体内腔紧密贴合，实现介质腔与操作腔的隔离，防止介质污染

密封件：分阀体密封与接头密封，可选 PCTFE/PI/PFA 材质，均为开滋原厂定制，与阀体、接头精准匹配，确保密封性能与耐温耐腐性

操作机构：90° 手动手轮 + LOTO 安全锁 + 传动丝杆，手轮旋转带动丝杆传动，实现隔膜片的升降与阀门的启闭；安全锁可锁定手轮位置，防止误操作

提升组件（ASSY）：模块化设计的专属提升结构，与传动杆联动，启闭时强制提升隔膜片，解决真空工况下的隔膜吸附问题，保证阀门启闭顺畅

连接接头：Male CVC 公制螺纹接头，与阀体一体化加工，螺纹精度高，连接密封性能好，可直接对接同规格流体管路，避免额外接头的介质污染风险

五、安装与使用核心要点

安装前准备：安装前核对产品型号、规格与现场工况匹配；检查阀体无磕碰、划伤，密封件与隔膜片无破损、老化，流道内部无杂质、油污；准备专用安装工具，避免使用易划伤螺纹的活扳手

安装要求：阀门为单向流通设计，需按阀体上的介质流向标识安装，严禁反向安装；螺纹连接时涂抹少量原厂专用密封脂（严禁使用黄油等非适配润滑脂），防止螺纹泄漏；安装后确保阀体无额外轴向、径向受力，避免阀体变形

操作要求：操作人员需熟悉 LOTO 安全锁的使用方法，非作业状态下将阀门锁定在全开或全关位置；启闭操作时平稳旋转手轮，90° 旋转到位后立即停止，严禁强行拧动手轮；严禁利用手轮作为受力点拖拽、撬动阀体

维护要求：定期检查阀门密封部位无泄漏、隔膜片无鼓包变形、手轮转动无卡滞；根据工况洁净度确定维护周期，常规高纯度工况 6~12 个月检查一次隔膜与密封件；更换隔膜、密封件时，需对阀体内腔做超净清洁，避免杂质带入，且必须更换开滋原厂配件，严禁使用副厂配件

储存要求：未安装的阀门需保持原厂密封包装，置于干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中，避免阳光直射、雨淋；已拆卸的阀门需清洁后密封各接口，防止杂质、水汽进入内部。