小流量在线监测｜Temtop 乐控 PMS21 粒子计数器洁净室环境监测方案

在半导体、生物医药、精密电子制造行业，洁净车间内悬浮微颗粒直接影响产品良率，微小粉尘会造成芯片短路、元器件缺陷、药品污染等重大质量事故。传统手持粒子计数器只能定点抽检，无法实现全天候连续监测，容易漏掉突发粉尘污染，难以满足 GMP、客户验厂、厂房年审等合规溯源要求。Temtop 乐控 PMS21 在线式高精度粒子计数器，就是针对洁净车间长期无人值守监测开发的固定式监测设备，为无尘车间提供连续、稳定、可追溯的颗粒物监测解决方案。

PMS21 采用2.83L/min 小流量泵吸式采样，区别于 28.3L/min 大流量机型，机身小巧，适合安装在工艺操作台、风管出口、设备腔体等狭小点位。设备内置工业级激光器，激光器使用寿命可达 20000 小时，长期连续运行稳定性强，较大幅降低后期维护更换成本。仪器可同时采集 0.3μm、0.5μm、0.7μm、1μm、2.5μm、5μm、10μm 七个通道粒径的粒子浓度，覆盖洁净室分级全部关键粒径指标，0.3μm 颗粒计数效率 50%，0.5μm 及以上粒径计数效率可达 100%，满足 ISO14644 洁净室分级标准与国内 JJF1190 粒子计数器计量规范。

整机采用全金属外壳，抗电磁干扰、耐粉尘腐蚀，适应车间 5℃~45℃常规工作环境，高低温工况下测量数据漂移小。仪器自带本地显示屏，可实时查看各粒径颗粒浓度，同时支持自定义采样时长，适配不同洁净等级厂房监测需求。通讯层面标配 RS485 Modbus RTU 工业接口，可直接接入工厂 FMCS 楼宇中控、上位机管理平台，监测数据实时上传、自动存储，管理人员远程查看车间洁净度变化，省去人工现场抄数工作。

当车间颗粒物浓度超过预设阈值，设备自动触发声光报警，快速提醒运维人员排查污染源，高效识别高效过滤器破损、气流紊乱、人员产尘、设备扬尘等洁净风险，提前干预，减少产品报废损失。设备支持定期计量校准，出具溯源证书，满足实验室、生产车间检测数据溯源要求。

PMS21 可应用于百级至百万级各类洁净空间，包含半导体晶圆封装车间、医药无菌灌装车间、医疗器械组装、锂电无尘封装、精密光学实验室等场景。它可以和便携式粒子计数器搭配使用，形成 “在线持续监测 + 现场巡检复核" 的完整洁净环境管控体系。在线设备长期值守，捕捉瞬时粉尘爆发；便携仪器现场复核，定位污染源头。这套组合方案是当前制造行业洁净厂房标准化环境管控的主流方案，能够持续保障生产环境稳定，降低因洁净度异常带来的质量风险，助力企业顺利通过客户审核与行业合规验收。