日本COSMOS新宇宙半导体材料气体检测仪
日本COSMOS新宇宙XPS-7II作为专为半导体行业研发的便携式气体检测仪,以精准检测、便捷运维及安全防护为核心优势,成为半导体生产、研发及检修场景的安全装备,适配高纯度生产环境的气体监测需求。
多元检测能力适配行业刚需。仪器采用模块化传感器设计,通过更换专用盒式传感器单元,可灵活检测氯气、氯化氢、氨气、硅烷等多种半导体工艺常用毒性气体及特殊材料气体,覆盖半导体蚀刻、沉积等关键工序的气体泄漏监测需求。搭载高精度检测技术,指示精度达满量程±10%以内,显示分辨率根据气体种类可达满量程的1/100或1/200,能精准捕捉低浓度泄漏,为工艺安全筑牢第一道防线。
免校准设计大幅降低运维成本。相较于传统检测仪频繁校准的痛点,XPS-7II采用一体化盒式传感器单元,更换时无需进行气体校正,仅需简单插拔即可完成传感器更换,单人操作即可完成维护,不仅节省校准试剂及人工成本,更避免了现场校准可能引入的误差风险。仪器应答速度快,60秒内即可达到60%响应,能快速捕捉气体浓度变化,为应急处置争取宝贵时间。
安全与便携性兼顾多样场景。仪器具备两段式报警功能,当气体浓度达到预设阈值时,通过蜂鸣器间歇鸣叫(浓度升高时频率加快,高浓度时连续鸣叫)、红色报警灯闪烁及LCD闪烁三重提示,确保现场人员快速察觉风险。机身设计紧凑,尺寸仅W62×H150×D128mm,重量约1.3公斤,搭配防滑握持设计,便于现场巡检携带。采用4节5号碱性电池或专用AC适配器供电,连续使用时长超12小时,满足单日多点位监测需求。
广泛适配半导体全产业链,涵盖芯片制造车间、半导体材料储存仓库、实验室及设备检修现场等场景,同时符合欧盟CE认证及RoHS环保指令,兼顾安全性能与环保要求,为半导体行业安全高效生产提供可靠技术支撑。
日本COSMOS新宇宙半导体材料气体检测仪