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中村库存高精度三次元坐标量测MITUTOYO三丰
产品简介:

中村库存高精度三次元坐标量测MITUTOYO三丰
适配半导体、精密模具等微米级测量需求。采用结晶化玻璃光栅尺,分辨率达 0.02μm,初项精度 0.7μm,18-22℃环境下主动温度补偿保障稳定精度。高刚性框架配空气轴承,3 轴加速度 2598mm/s²,扫描速度 3mm/s,支持多测头切换与 5 轴联动扫描。搭载 M - Apex 系统,实现智能路径规划与数据追溯,助力精密制造高效质检。

产品型号:STRATO-Apex

更新时间:2026-01-04

厂商性质:经销商

访问量:125

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产品介绍

中村库存高精度三次元坐标量测MITUTOYO三丰

适配半导体、精密模具等微米级测量需求。采用结晶化玻璃光栅尺,分辨率达 0.02μm,初项精度 0.7μm,18-22℃环境下主动温度补偿保障稳定精度。高刚性框架配空气轴承,3 轴加速度 2598mm/s²,扫描速度 3mm/s,支持多测头切换与 5 轴联动扫描。搭载 M - Apex 系统,实现智能路径规划与数据追溯,助力精密制造高效质检。

中村库存高精度三次元坐标量测MITUTOYO三丰

是面向半导体、精密模具等微米级测量场景的旗舰级 CNC 三次元坐标测量仪,凭借超高精度、高速驱动与智能系统,适配精密制造全流程的严苛质检需求,助力企业实现高效精准的质量管控。

核心硬件与精度保障

仪器采用结晶化玻璃光栅尺,X/Y/Z 轴分辨率达 0.02μm,搭配高性能反射式线性编码器,初项精度达 0.7μm,几何精度稳定性达 0.8μm/m。内置 32 个温度传感器,在 18-22℃环境下通过主动温度补偿算法,将温度影响控制在 ±1.5μm/°C 内,有效抵消环境温度波动对测量结果的干扰。机身采用 STRATO 高刚性框架结构与三点支撑设计,搭配自动调平空气弹簧减震单元,可减少地面振动影响,保障高速运动时的测量稳定性。3 轴加速度达 2598mm/s²,驱动速度519mm/s,扫描速度 3mm/s,兼顾测量效率与数据精准度。

智能系统与测量适配

搭载 M - Apex 智能控制系统,支持 5 轴联动扫描,具备实时误差补偿、自适应路径规划与智能碰撞防护功能,系统响应速度较上一代提升 40%,测量效率提高 35%。UC480 控制器支持接触式、非接触式激光测头、视觉测头等多传感器自由切换,适配不同材质、形状工件的测量需求,如微小电子元件用视觉测头、模具曲面用扫描测头,混合测量模式可使效率提升 50% 以上。同时,集成 MeasurLink 数据管理系统,可实现测量数据的实时采集、可视化呈现与全程追溯,适配智能工厂数字化管理需求。

型号规格与应用场景

该系列型号丰富,包括 574、776、9106、9108 等,测量行程覆盖 500mm×700mm×400mm 至 900mm×1000mm×800mm 等多种规格,工作台承重适配不同尺寸工件,满足从微小半导体封装件到大型精密机械部件的测量需求。实际应用中,可用于航空航天叶片、汽车发动机精密零件、半导体晶圆等产品的尺寸、形位公差检测,也能配合自动化生产线实现在线检测,快速识别生产过程中的质量问题,减少不良品流出,提升整体生产效益。

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