KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1200E的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1200E的特点无油干式运行：采用无润滑油机械结构，避免了油蒸气对工艺环境的污染，特别适用于对洁净度要求场合，如半导体制造、液晶显示制造等。抽气能力强：最大抽速可达20,000L/min，能快速有效地抽取气体，可满足不同应用场景对真空度的需求。极限真空度高：极限压力可达到0.1Pa甚至更低，能够提供高真空环境，满足如半导体工艺中一些对真空度要求严苛的工艺步骤。氮气吹扫功能：支持氮气吹扫，氮气流量可在一定范围内调节，通常能在0至60SLM范...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP600E的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP600E的特点无油干式技术：采用螺杆式/爪式转子结构，通过精密啮合转子实现气体压缩，全程无润滑油，可避免油蒸气污染，特别适合如晶圆加工等对洁净度要求高的敏感工艺。耐腐蚀设计：转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层，能够耐受酸性气体（如HCl、Cl₂）和颗粒物，适用于处理腐蚀性气体的场合。抽速较高：最大抽速可达10,000L/min，能够快速抽取气体，提高工作效率。极限真空度高：极限压力可达0.1Pa（0.001mbar），可满足对真空度要求严...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE1203X/TX的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE1203X/TX的特点抽气速度快：最大抽气速度可达20,000L/min。能快速抽取气体，可有效缩短抽气时间，提高工作效率，适用于对真空环境建立速度要求高的工艺。极限压力低：极限压力为0.5Pa，可提供高真空度，满足半导体制造、光学制造等对真空度要求苛刻的领域的需求。耐腐蚀性强：采用垂直螺杆和特殊材料，通过结构材料和温度设定，使其具有高耐腐蚀性，能适应各种复杂的工艺流程和恶劣的工作环境，可应用于有腐蚀性气体的工艺中。节能高效：属于节能型产...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE603X/TX的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE603X/TX的特点抽气速度快：SDE603X/TX属于大排量泵，其最大抽气速度可达10,000L/min，能够快速抽取气体，有效缩短抽气时间，提高工作效率，适用于需要快速建立真空环境的工艺。极限压力低：极限压力可达到0.5Pa，能提供高真空度，满足对真空度要求较高的工艺需求，如半导体制造、光学制造等领域。工艺适应性强：采用了先进的技术，通过结构材料和温度设定，使其具有高耐腐蚀性，能适应各种复杂的工艺流程和恶劣的工作环境，可应用于半导体制...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE303X/TX的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE303X/TX的特点大抽速高效能：SDE303X抽速可达5,000L/min，能够快速抽取气体，显著缩短达到真空环境的时间，大幅提升生产效率，在需要快速建立真空状态的工艺中表现出色，如半导体制造中的快速成膜工序。节能设计：以SDE303X为例，消耗功率仅1.5kW，在实现高抽速的同时保持低能耗，采用特殊的螺杆形状等节能技术，有效降低企业运营成本，契合当前工业节能的发展趋势。良好的耐过程性：继承SDE系列耐过程特性，可适应复杂工艺流程。对于...

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