KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE200的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE200的特点抽速大：最大抽速可达3300L/min，能快速抽取气体，可满足半导体、光电显示等行业苛刻工艺对真空效率的高要求。极限压力低：极限真空度低至1.3Pa，在不使用氮气吹扫的情况下也能维持高性能稳定运行，可提供高真空度环境。干式运行：采用无油结构，避免了油污染风险，特别适用于洁净室环境和对纯度要求高的工艺。结构可靠：垂直安装的双螺杆结构可有效防止颗粒堆积，延长泵体使用寿命，提高了运行的稳定性和可靠性。耐腐蚀性强：配备高耐腐蚀材料与温...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE120TX的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE120TX的特点抽速大：最大抽速可达1500L/min，能快速抽取气体，可满足半导体、光电显示等行业苛刻工艺对真空效率的高要求。极限压力低：极限真空度低至1.3Pa，在不使用氮气吹扫的情况下也能维持高性能稳定运行，可提供高真空度环境。干式运行：采用无油结构，避免了油污染风险，特别适用于洁净室环境和对纯度要求高的工艺。结构可靠：垂直安装的双螺杆结构可有效防止颗粒堆积，延长泵体使用寿命，提高了运行的稳定性和可靠性。耐腐蚀性强：配备高耐腐蚀材料...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE90X的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE90X的特点大抽气速率：抽气速率为58L/s，最大抽速可达1300L/min，能够快速有效地抽取气体，适用于需要大排量抽气的应用场景，如大尺寸晶圆和FPD基板的处理。节能：属于节能型产品，功率为1.3kW，相比传统类型可降低54%的功耗，通过参数优化，在保证性能的同时实现了能源的有效利用。极限压力低：极限压力可达57Pa，能提供较高的真空度，满足对真空环境要求较高的工艺需求。耐用性强：SDE-X系列注重在恶劣工艺条件下的耐用性，采用耐腐蚀...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH6000的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH6000的特点工艺耐性强：属于SDH系列，具有SuperHirsch对应和工艺耐性的特点，能适应各种复杂工艺环境。无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，适用于超洁净工艺环境，如半导体晶圆制造等。氮气吹扫功能：支持氮气吹扫功能，氮气流量可在0至80SLM范围内调节，增强工艺灵活性。抽气能力强：最大抽速可达60,000L/min，极限压力为0.5Pa，能快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求。高效节能：通过新型加热器系统...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特点工艺耐性好：属于SDH系列，具有SuperHirsch对应和工艺耐性的特点，能适应各种复杂工艺环境。无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，适用于如半导体晶圆制造等超洁净工艺环境。氮气吹扫功能：支持氮气吹扫功能，氮气流量可在0至80SLM范围内调节，增强了工艺灵活性。抽气能力较强：最大抽速可达30,000L/min，极限压力为0.5Pa，能快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求。高效节能：通过新型加热器系...

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