KASHIYAMA日本樫山真空泵MU180X的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MU180X的特点无油洁净：采用无油干式技术，通过精密啮合的螺杆式/爪式转子结构实现气体压缩，全程无润滑油，可避免油蒸气对工艺腔体的污染，适用于如晶圆加工等对洁净度要求敏感工艺。抽速高：最大抽速可达3000L/min，能够快速有效地抽取气体，可适应中高负载的真空需求，满足如真空镀膜系统、等离子清洗设备等对抽气速度有较高要求的设备。极限压力低：极限压力为1.5Pa，可获得较高的真空度，能满足一些对真空环境要求较为苛刻的工艺需求。耐腐蚀：转子与腔体...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵MU300XE的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MU300XE的特点无油洁净：采用无油干式技术，通过精密啮合的螺杆式/爪式转子结构实现气体压缩，全程无润滑油，可避免油蒸气对工艺腔体的污染，适用于如晶圆加工等对洁净度要求的敏感工艺。抽速高：最大抽速可达3000L/min，能够快速有效地抽取气体，可适应中高负载的真空需求，满足如真空镀膜系统、等离子清洗设备等对抽气速度有较高要求的设备。极限压力低：极限压力为1.5Pa，可获得较高的真空度，能满足一些对真空环境要求较为苛刻的工艺需求。耐腐蚀：转子与...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵MU600XE的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MU600XE的特点无油洁净：采用无油运转设计，避免了油对工艺腔体的污染，可确保环境洁净无残留，适用于对洁净度要求的半导体、液晶、LED及太阳能光伏等行业。抽速高：最大抽速可达10,000L/min。能快速有效地抽取气体，可满足中高负载的真空需求，能缩短设备的抽气时间，提高生产效率。极限压力低：极限压力为0.5Pa，可获得较高的真空度，能满足对真空环境要求苛刻的工艺需求，如高精度的半导体镀膜工艺等。节能环保：配备低功耗电机，功率约0.6kW，运...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵MU1200XE的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MU1200XE的特点抽速高：最大抽速可达20,000L/min，能快速抽取气体，可满足大负载真空需求，大大缩短抽气时间，提高生产效率，适用于对抽气速度要求高的工艺，如大型半导体镀膜设备、大型真空干燥设备等。极限压力低：极限压力为0.5Pa，可获得高真空度，能满足对真空环境要求苛刻的工艺，如高精度半导体光刻、电子束蒸发等工艺对真空度要求，该真空泵能提供稳定的高真空环境。无油洁净：采用无油运转设计，避免油污染，可确保工艺腔体洁净无残留。适用于对洁...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵MU100XE的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MU100XE的特点无油洁净：采用无油干式设计，无需油封，避免了油蒸汽对环境和工艺的污染，特别适合在对洁净度要求的洁净室环境以及敏感工艺中使用，如半导体制造、液晶显示器生产、LED制造和光伏产业等。高抽速、低能耗：运用优化的Roots转子结构，能提供高达1660L/min的稳定抽速，可满足中高负载的真空需求。同时配备低功耗电机，运行能效比优于同类产品，功率约0.25kW，在实现高效抽气的同时降低了能耗。结构紧凑：尺寸为450×230×275mm...

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