KASHIYAMA日本樫山真空泵MUH3000的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MUH3000的特点无油洁净：采用无油运转设计，避免了油污染，可确保工艺腔体洁净无残留，适用于对洁净度要求高的行业，如半导体、液晶、LED及太阳能光伏等。抽速高：最大抽速可达30,000L/min，能适应中高负载真空需求，可快速有效地抽取气体，提高工作效率。极限压力低：极限压力为0.5Pa，可获得较高的真空度，满足一些对真空环境要求苛刻的工艺需求。节能环保：配备低功耗电机，运行能效比优于同类产品，在达到所需真空度的同时，能有效降低能耗，节省运行...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1800E的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1800E的特点气体适应性强：能够排出含有水蒸气或水滴的气体，也可排出易燃、腐蚀性气体，适用于多种复杂气体环境。运行稳定可靠：摩擦部件少，能承受连续运转，不易出现故障，可长时间稳定工作，减少维护成本和停机时间。低噪音、低振动：通过减振技术和优化结构设计，有效降低了运行中的噪音和振动，为工作环境提供了较好的条件。高效节能：所有模型均为埃尔莫型，比传统纳什型具有更好的效率达标压力，能以较少的能耗达到较好的真空效果，实现节能运行。供水系统优化：...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1200E的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1200E的特点无油干式运行：采用无润滑油机械结构，避免了油蒸气对工艺环境的污染，特别适用于对洁净度要求场合，如半导体制造、液晶显示制造等。抽气能力强：最大抽速可达20,000L/min，能快速有效地抽取气体，可满足不同应用场景对真空度的需求。极限真空度高：极限压力可达到0.1Pa甚至更低，能够提供高真空环境，满足如半导体工艺中一些对真空度要求严苛的工艺步骤。氮气吹扫功能：支持氮气吹扫，氮气流量可在一定范围内调节，通常能在0至60SLM范...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP600E的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP600E的特点无油干式技术：采用螺杆式/爪式转子结构，通过精密啮合转子实现气体压缩，全程无润滑油，可避免油蒸气污染，特别适合如晶圆加工等对洁净度要求高的敏感工艺。耐腐蚀设计：转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层，能够耐受酸性气体（如HCl、Cl₂）和颗粒物，适用于处理腐蚀性气体的场合。抽速较高：最大抽速可达10,000L/min，能够快速抽取气体，提高工作效率。极限真空度高：极限压力可达0.1Pa（0.001mbar），可满足对真空度要求严...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE1203X/TX的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE1203X/TX的特点抽气速度快：最大抽气速度可达20,000L/min。能快速抽取气体，可有效缩短抽气时间，提高工作效率，适用于对真空环境建立速度要求高的工艺。极限压力低：极限压力为0.5Pa，可提供高真空度，满足半导体制造、光学制造等对真空度要求苛刻的领域的需求。耐腐蚀性强：采用垂直螺杆和特殊材料，通过结构材料和温度设定，使其具有高耐腐蚀性，能适应各种复杂的工艺流程和恶劣的工作环境，可应用于有腐蚀性气体的工艺中。节能高效：属于节能型产...

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