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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE603X/TX的特点抽气速度快:SDE603X/TX属于大排量泵,其最大抽气速度可达10,000L/min,能够快速抽取气体,有效缩短抽气时间,提高工作效率,适用于需要快速建立真空环境的工艺。极限压力低:极限压力可达到0.5Pa,能提供高真空度,满足对真空度要求较高的工艺需求,如半导体制造、光学制造等领域。工艺适应性强:采用了先进的技术,通过结构材料和温度设定,使其具有高耐腐蚀性,能适应各种复杂的工艺流程和恶劣的工作环境,可应用于半导体制...
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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE303X/TX的特点大抽速高效能:SDE303X抽速可达5,000L/min,能够快速抽取气体,显著缩短达到真空环境的时间,大幅提升生产效率,在需要快速建立真空状态的工艺中表现出色,如半导体制造中的快速成膜工序。节能设计:以SDE303X为例,消耗功率仅1.5kW,在实现高抽速的同时保持低能耗,采用特殊的螺杆形状等节能技术,有效降低企业运营成本,契合当前工业节能的发展趋势。良好的耐过程性:继承SDE系列耐过程特性,可适应复杂工艺流程。对于...
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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE200的特点抽速大:最大抽速可达3300L/min,能快速抽取气体,可满足半导体、光电显示等行业苛刻工艺对真空效率的高要求。极限压力低:极限真空度低至1.3Pa,在不使用氮气吹扫的情况下也能维持高性能稳定运行,可提供高真空度环境。干式运行:采用无油结构,避免了油污染风险,特别适用于洁净室环境和对纯度要求高的工艺。结构可靠:垂直安装的双螺杆结构可有效防止颗粒堆积,延长泵体使用寿命,提高了运行的稳定性和可靠性。耐腐蚀性强:配备高耐腐蚀材料与温...
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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE120TX的特点抽速大:最大抽速可达1500L/min,能快速抽取气体,可满足半导体、光电显示等行业苛刻工艺对真空效率的高要求。极限压力低:极限真空度低至1.3Pa,在不使用氮气吹扫的情况下也能维持高性能稳定运行,可提供高真空度环境。干式运行:采用无油结构,避免了油污染风险,特别适用于洁净室环境和对纯度要求高的工艺。结构可靠:垂直安装的双螺杆结构可有效防止颗粒堆积,延长泵体使用寿命,提高了运行的稳定性和可靠性。耐腐蚀性强:配备高耐腐蚀材料...
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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE90X的特点大抽气速率:抽气速率为58L/s,最大抽速可达1300L/min,能够快速有效地抽取气体,适用于需要大排量抽气的应用场景,如大尺寸晶圆和FPD基板的处理。节能:属于节能型产品,功率为1.3kW,相比传统类型可降低54%的功耗,通过参数优化,在保证性能的同时实现了能源的有效利用。极限压力低:极限压力可达57Pa,能提供较高的真空度,满足对真空环境要求较高的工艺需求。耐用性强:SDE-X系列注重在恶劣工艺条件下的耐用性,采用耐腐蚀...
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