KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH6000的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH6000的特点工艺耐性强：属于SDH系列，具有SuperHirsch对应和工艺耐性的特点，能适应各种复杂工艺环境。无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，适用于超洁净工艺环境，如半导体晶圆制造等。氮气吹扫功能：支持氮气吹扫功能，氮气流量可在0至80SLM范围内调节，增强工艺灵活性。抽气能力强：最大抽速可达60,000L/min，极限压力为0.5Pa，能快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求。高效节能：通过新型加热器系统...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特点工艺耐性好：属于SDH系列，具有SuperHirsch对应和工艺耐性的特点，能适应各种复杂工艺环境。无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，适用于如半导体晶圆制造等超洁净工艺环境。氮气吹扫功能：支持氮气吹扫功能，氮气流量可在0至80SLM范围内调节，增强了工艺灵活性。抽气能力较强：最大抽速可达30,000L/min，极限压力为0.5Pa，能快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求。高效节能：通过新型加热器系...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDT1800的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDT1800的特点工艺耐性强：除形状的螺杆外，新的加热器系统进一步强化了工艺耐性，特殊材料具备高耐腐蚀性，能适应丰富的温度变化，可实现广泛的工艺响应。无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，适用于超洁净工艺环境，如半导体晶圆制造等。氮气吹扫功能：支持氮气吹扫功能，氮气流量可在0至120SLM范围内调节，增强了工艺灵活性。抽气能力强：最大抽速可达100,000L/min，极限压力为0.3Pa，能够快速有效地抽取气体，满足不同应用场景...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDX1800的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDX1800的特点无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，适用于超洁净工艺环境，如半导体晶圆制造等。氮气吹扫功能：支持氮气吹扫功能，氮气流量可在0至80SLM范围内调节，增强了工艺灵活性。高效节能：通过新型加热器系统与机械结构优化，实现了低功耗化，功率仅1.5kW。抽气能力强：最大抽速可达10,000L/min，极限压力为0.5Pa，能够快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求。小型化设计：外形尺寸为695×285×820m...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDT1200的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDT1200的特点无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，适用于超洁净工艺环境，如半导体晶圆制造等。氮气吹扫功能：支持氮气吹扫功能，氮气流量可在0至80SLM范围内调节，增强了工艺灵活性。高效节能：通过新型加热器系统与机械结构优化，实现了低功耗化，功率仅1.5kW。抽气能力强：最大抽速可达10,000L/min，极限压力为0.5Pa，能够快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求。小型化设计：外形尺寸为695×285×820m...

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