现货库存：日本USHIO牛尾分割投影光刻机UX-5894SC
大口径投影镜片：可能配备大口径投影镜片，像其常规投影式光刻机一样，有助于大幅提高良品率，并达到高产能。

现货库存：日本USHIO牛尾分割投影光刻机UX-5894SC

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高分辨率：USHIO 牛尾的投影式光刻机通常采用专业开发的高输出灯以及设计的投影镜片，可实现高效率的高解析度曝光，分割投影技术可能进一步优化了分辨率，以满足更精细的光刻需求。

大口径投影镜片：可能配备大口径投影镜片，像其常规投影式光刻机一样，有助于大幅提高良品率，并达到高产能。

深焦点深度：焦点深度较深，厚膜光阻与变形胶卷均能适用，也可对非平面晶圆进行适当曝光，在分割投影时也能保证各部分曝光的准确性和一致性。

自动对焦与对准：具备自动对焦机能和高精度的对准系统，如采用 TTL 非曝光波长对准系统，可通过图像处理检测并固定掩模和工件的对准标记，即使是整体涂铬的小掩模也能轻易识别工作记号，还能自动检测基板伸缩导致的图案变化并调整投影倍率，确保分割投影时图案的精确对准和拼接。

适用多种基板：可适用于多种类型的基板，如玻璃基板、陶瓷基板、印刷电路板等，以及宽幅及薄型胶卷，分割投影技术不会对基板的适用性造成限制，反而可能增强对不同形状和尺寸基板的处理能力。

高均匀性照明：照明光学系统能有效集中光源发出的光，以高度均匀、高平行的方式照射掩模，通过在镜面上实施特殊涂装，可选择曝光波长并阻隔热线，保证分割投影区域内的照明均匀性，提高光刻图案的质量。

掩模损伤小：投影曝光方式无需掩模与工件接触，可避免掩模损伤，在分割投影过程中，同样能保护掩模，减少因掩模损坏导致的光刻误差和成本增加。

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