KASHIYAMA日本樫山工业真空泵NeoDry30G
无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，适用于超洁净工艺环境，如半导体晶圆制造等。

KASHIYAMA日本樫山工业真空泵NeoDry30G

KASHIYAMA日本樫山工业真空泵NeoDry30G

无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，适用于超洁净工艺环境，如半导体晶圆制造等。

氮气吹扫功能：支持氮气吹扫功能，氮气流量可在 0 至 80SLM 范围内调节，增强了工艺灵活性。

高效节能：通过新型加热器系统与机械结构优化，实现了低功耗化，功率仅 1.5kW。

抽气能力强：最大抽速可达 10,000L/min，极限压力为 0.5Pa，能够快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求。

小型化设计：外形尺寸为 695×285×820mm，机身小巧，节省安装空间。

冷却水需求低：冷却水流量仅需 3.0L/min，对冷却系统的要求不高，可降低运行成本和设备复杂度。

安全可靠：符合工业安全标准，配备高安全性防护设计，能在工况下稳定运行。

产品兼容性好：支持与同系列设备协同工作，可扩展应用场景，例如可与 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。

应用领域广泛：适用于化工、电子 / 电池、半导体制造、实验室等领域，可用于晶圆加工、蚀刻等关键工艺的真空环境控制，以及高纯度实验环境及腐蚀性气体处理。

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