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日本ULVAC爱发科多电离真空计
产品简介:

日本ULVAC爱发科多电离真空计
ULVAC ST200-R是爱发科G-TRAN系列串行通讯型多电离真空计,采用巴雅德-阿尔珀特电离检测原理,适配超高真空环境测量。设备体积精简、精度优异,氮气测量精度达±2%,支持多传感器拓展与远程数据传输。具备灯丝寿命预警、快速采样处理功能,适配半导体、真空镀膜、精密实验等真空设备的压力监测场景。

产品型号:ST200-R

更新时间:2026-09-15

厂商性质:经销商

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产品介绍

日本ULVAC爱发科多电离真空计
ULVAC ST200-R是日本爱发科(ULVAC)G-TRAN系列旗舰级多电离真空计,专为超高真空、高精密真空工况研发,依托成熟的热阴极电离检测技术,实现真空压力的精准、稳定、实时监测,是半导体制造、真空镀膜、精密科研、真空设备运维领域的核心检测仪器。相较于传统真空计,该设备实现了小型化升级、功能智能化迭代与数据数字化传输,全面适配现代真空工艺的精准管控需求。

设备核心检测性能顶尖,采用巴雅德-阿尔珀特电离检测结构,搭载高精度传感单元,针对氮气介质的测量精度可达±2%,检测误差极低,能够精准捕捉超高真空环境下的细微压力波动。采样速度高达60ms,搭配5次移动平均运算处理技术,可有效过滤环境干扰、稳定检测数据,避免瞬时压力波动导致的数值偏差,保障真空环境压力监测的稳定性与准确性。测量量程覆盖超高真空区间,适配各类真空工艺的压力检测标准,可精准监测设备内部真空状态,为工艺稳定性提供核心数据支撑。
日本ULVAC爱发科多电离真空计

结构设计大幅优化,实现小型化升级,相较于前代产品,控制器体积缩减56%,是同级别电离真空计中体积最小的机型之一,占用设备空间极小,便于集成安装在各类紧凑型真空设备、精密实验装置中,适配多样化设备布局需求。设备防护等级达IP30,可抵御轻微粉尘、异物侵入,适配工业车间、实验室等常规作业环境,工作湿度15%-80%(无结露),适配常规真空工况环境,环境适配性强。供电采用DC20-28V稳压电源,整机功耗低于8W,能耗低、运行稳定,适合长期不间断连续工作。
作为串行通讯专属机型,ST200-R主打数字化数据传输与智能管控,搭载RS232C/RS485双通讯接口,支持设备与电脑、工控系统、智能终端的实时数据传输、远程参数设置与状态监测,可无缝对接自动化生产控制系统,实现真空压力数据的实时上传、存储与溯源,适配智能制造、自动化精密工艺的数字化管控需求。设备支持多传感器拓展,可搭配多离子传感器、皮拉尼真空计、压力传感单元协同工作,实现多维度、大范围真空压力检测,适配复杂真空系统的监测需求。
智能防护与运维功能丰富,内置灯丝寿命监测预警系统,可实时监控电离灯丝工作状态,在灯丝老化、临近损坏前提前预警,提醒操作人员及时更换配件,避免灯丝故障导致的检测失效、工艺异常问题,大幅降低设备故障停机风险,延长设备使用寿命。设备支持PC、安卓移动端远程调试与参数设定,无需现场拆机操作,运维便捷性大幅提升。整体性能稳定、抗干扰能力强、使用寿命长,广泛应用于半导体晶圆加工、光学真空镀膜、真空热处理、精密科研实验、航天真空设备检测等领域,是超高真空环境精准监测、工艺稳定管控的核心设备。


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