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五金机电 机械备品
ULVAC日本爱发科
ST200-R日本ULVAC爱发科多电离真空计

产品型号:ST200-R
更新时间:2026-09-15
厂商性质:经销商
访问量:51
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产品分类
日本ULVAC爱发科多电离真空计
ULVAC ST200-R是日本爱发科(ULVAC)G-TRAN系列旗舰级多电离真空计,专为超高真空、高精密真空工况研发,依托成熟的热阴极电离检测技术,实现真空压力的精准、稳定、实时监测,是半导体制造、真空镀膜、精密科研、真空设备运维领域的核心检测仪器。相较于传统真空计,该设备实现了小型化升级、功能智能化迭代与数据数字化传输,全面适配现代真空工艺的精准管控需求。
设备核心检测性能顶尖,采用巴雅德-阿尔珀特电离检测结构,搭载高精度传感单元,针对氮气介质的测量精度可达±2%,检测误差极低,能够精准捕捉超高真空环境下的细微压力波动。采样速度高达60ms,搭配5次移动平均运算处理技术,可有效过滤环境干扰、稳定检测数据,避免瞬时压力波动导致的数值偏差,保障真空环境压力监测的稳定性与准确性。测量量程覆盖超高真空区间,适配各类真空工艺的压力检测标准,可精准监测设备内部真空状态,为工艺稳定性提供核心数据支撑。
日本ULVAC爱发科多电离真空计