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中村供货:日本USHIO牛尾投影式光刻机UX-4440SC 高解析度:采用专业开发的高输出灯以及光学技术设计的投影镜片,能够实现高效率的高解析度曝光,可满足精细图案的光刻需求。
中村供货:日本USHIO牛尾投影式光刻机UX-44101SC 高解析度:采用专业开发的高输出灯以及光学技术设计的投影镜片,能够实现高效率的高解析度曝光,可满足精细图案的光刻需求。
日本USHIO牛尾MIKASA光刻机M-1S 操作方式与对准精度:属于手动操作、接触式对准曝光机,使用对物镜 20× 时,对准精度 < 1.2μm,能够较为精确地将掩模上的图案对准到晶圆或基板上,保证图案转移的准确性。
日本USHIO牛尾MIKASA光刻机M-2LF 操作方式与对准精度:属于手动操作、接触式对准曝光机,使用对物镜 20× 时,对准精度 < 1.2μm,能够较为精确地将掩模上的图案对准到晶圆或基板上,保证图案转移的准确性。
日本USHIO牛尾MIKASA光刻机MA-60F 操作方式与对准精度:属于手动操作、接触式对准曝光机,使用对物镜 20× 时,对准精度 < 1.2μm,能够较为精确地将掩模上的图案对准到晶圆或基板上,保证图案转移的准确性。
日本USHIO牛尾MIKASA光刻机MA-20 操作方式与对准精度:属于手动操作、接触式对准曝光机,使用对物镜 20× 时,对准精度 < 1.2μm,能够较为精确地将掩模上的图案对准到晶圆或基板上,保证图案转移的准确性。